静电现象普遍存在,电子工业中预防静电危害的方法主要有三:

一、源头上控制静电产生,使用防静电材料替代绝缘材料,调控环境温湿度,如半导体工厂工作间湿度维持在40%至60%,以及选用表面电阻值在1兆欧至1吉欧之间的包装材料。

二、采用静电中和法消除静电,如使用离子风机、离子棒等静电消除器,通过释放相反极性的离子来中和物体表面的静电,实现平衡效果。

三、接地是静电消除中最直接且有效的方法,工厂中常将防静电地板、桌垫等接地,确保静电及时导出,但现场条件限制有时使得操作变得复杂。

对于孤立导体,静电问题尤为突出,常采用第二种方法消除。但首先需检测孤立导体所带静电压值,才能采取相应措施消除或预防静电。

 

孤立导体表面静电压测试方法及其局限性

非接触式静电压表广泛应用于测量各类产品、机器及测试治具的表面静电压。其测试量程、误差及最小显示数值均可满足一般工厂需求。使用时需调零,确保测试准确性。然而,由于目前非接触式表显示数值,检测精度等原因限制,对低静电压的测量存在难度,且对于非平面物体表面的测量可能存在无法量测或数值差异大等情况。

接触式静电压表的检测优势及应用

接触式静电压表结合数字电压表的易用性,通过接触式探头精确测量电压。其测量原理基于检测被测点电荷,保证了测量的精准性。以AAC-TE-520静电压表为例,它检测的是物体表面真正的静电电压值。其测量范围为0 ~ ±1kV;测量精度 0-30V :1V 31-2000V :± 10%。AAC-TE-520还配备了独特设计的探头,特殊设计的金属尖端,可以满足不同测量需求,能够有效防止电弧放电,避免对设备造成损害。

 

孤立导体静电压检测的重要性及方法

孤立导体在半导体设备和测试站点中常见,其接触带电或感应起电后可能导致静电放电或电荷转移,进而引发导体机器模型(MM)问题。MM由于电容大、电阻小,静电放电电流大,危害严重。因此,对孤立导体进行静电压检测至关重要。建议使用接触式静电压表测量,以减少测试时的ESD事件和周围环境电场对结果的影响。定期检测有助于预防静电危害,并为后续研究和失效分析提供手段。

 

 

孤立导体静电问题及解决方案